šildymo mocvd reaktorius su indukcija
Indukcinis kaitinimas Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktoriai yra technologija, skirta pagerinti šildymo efektyvumą ir sumažinti kenksmingą magnetinį ryšį su dujų įleidimo anga. Įprasti indukcinio šildymo MOCVD reaktoriai dažnai turi indukcinę ritę, esančią už kameros, todėl gali būti mažiau efektyvus šildymas ir galimi magnetiniai trukdžiai dujų tiekimo sistemai. Naujausi… Skaityti daugiau